有机废气中的碳氢化合物在催化剂的作用下，能在低温下迅速氧化成水和二氧化碳，从而达到处理的目的。废气催化燃烧处理工业有机废气是20世纪40年代末出现的一项技术。

　　废气催化燃烧过程在催化燃烧装置中进行。热交换器将有机废气预热至200~400℃，然后进入燃烧室。当通过催化剂床时，混合气体中的碳氢化合物和氧分子分别吸附在催化剂表面并激活。碳氢化合物和氧分子在较低的温度下迅速氧化，产生二氧化碳和水，因为表面吸附降低了反应的活化能。

　　废气催化燃烧反应的关键是选择合适的催化剂。催化剂要求高活性，特别是低温活性，以便在可能的低温度下启动反应。燃烧反应是一种放热反应，释放大量热量可使催化剂表面达到500~1000℃，催化剂容易降低活性。催化剂由于熔化，需要能够承受高温。

　　废气催化燃烧催化剂可分为：①贵金属：铂、钯、鳗鱼等。贵金属催化剂具有氧化活性高、易回收等优点。虽然资源稀缺，价格高，耐毒性差，但仍是世界上使用的主要催化剂。②非贵金属：主要用于过渡元素和稀土元素的氧化物。氧化铜(Cuo)、氧化镍(NiO)等单组分氧化物。单组分氧化物耐热性差，活性低，限制了其应用。后来，使用了两种以上的金属氧化物混合物，如二氧化锰氧化铜(3：2)、氧化铁三氧化铬、氧化铜三氧化铬、钴、锰尖晶石、铜、锰、镍、铬酸锌等。虽然复合氧化物可以提高一定的催化性能，但其氧化活性不如贵金属此外，还有赭石、镍、钼、钴等金属硫化物。催化剂一般仅适用于含硫烃的催化燃烧，使用温度限制在300~400℃，高温下易分解。