化工厂VOCs废气主要来源于化工生产过程中有机溶剂和燃料的蒸发、燃烧，以及低温过程的挥发物和工艺中的漏气等。具体地，可能包括石油开采与加工、炼焦与煤焦油加工、煤矿、木材干馏、天然气开采与利用等过程。这些过程中产生的VOCs种类繁多，包括烃类（烷烃、烯烃和芳香烃）、酮类、酯类、醇类、酚类、醛类、胺类、腈类等有机化合物。其中，苯类（苯、甲苯、二甲苯）和卤代烃类是工业排放量最大的物质，同时也是高毒性的物质。

化工厂VOCs废气的特点主要体现在以下几个方面：

1. 排放强度大、浓度高、持续时间长：对局部空气质量的影响显著。

2. 涉及的行业众多：工业生产过程中所排放的VOCs种类多，污染物种类和组成繁杂，性质差异大。

3. 工艺废气工况条件复杂多样：在不同的生产工艺中，气态污染物往往以混合物的形式排放，常温废气中往往掺杂一定量的颗粒物。

针对化工厂VOCs废气的处理，常见的工艺流程包括：

1. 废气收集：通过管道系统或其他收集装置将产生的VOCs废气集中起来，以便进行后续处理。

2. 预处理：针对高浓度的有机物，进行预处理以降低其浓度。常用的预处理方法包括稀释、冷凝和吸附等。

3. VOCs废气处理：根据VOCs的性质选择合适的废气处理工艺。常见的处理方法包括催化燃烧、催化氧化、吸附解吸、等离子体处理等。催化燃烧是目前常用的方法，通过将VOCs在高温下与氧气反应，将有机物完全氧化成二氧化碳和水。

4. 尾气处理与排放：经过处理后的废气在符合排放标准后进行排放。

在整个处理过程中，需要密切关注废气成分的变化，根据实际情况调整处理工艺，以确保处理效果达到最佳。同时，严格遵守环保法规，确保处理过程的安全性和合规性。

请注意，具体的处理工艺流程可能因企业实际情况、废气成分和处理目标的不同而有所差异。因此，在实际应用中，应根据具体情况制定合适的废气处理方案